熱式質量流量計(控製（zhì）器)使用中注意事項（xiàng）

(1)儀（yí）表使用時,使用環境應滿足說明書中規定的環境條件和使（shǐ）用攏術規定,流ZUI大值應在所選儀（yí）表程的規定範圍內。

(2)為了保證 MFM/MFC可（kě）緣工作和維護使用方便,儀表使用時應配套安裝適（shì）當（dāng）截止、過濾器,幹（gàn）燥器、單向、減壓器和（hé）背壓等。

(3)由於該儀表容易發生堵塞現象,所以使用中要經常啟用“清洗（xǐ）”過程和定期清洗配套過濾器。

(4)使（shǐ）用（yòng）中（zhōng）進行（háng）“清洗”操作時（shí）,“清洗”結東,不要直接轉（zhuǎn）入（rù）“閥控”位,應先置於“關閉位覺,然後,再轉至“控（kòng）”位。

(5)對（duì）於反應係統,建議在 MFM/MFC入口處加裝過濾器,出口端加（jiā）裝單向層,以防止異常情況發（fā）生時,液體反應物倒流（liú）至儀表（biǎo）內使其損壞（huài）。

(6)對於常壓係統,一般選擇減壓器和過（guò）濾器與其配套,以便保證（zhèng）儀表可運行和控（kòng）精度。

(7)對於高壓係統,應在 MFM//MFC的上遊（yóu）加裝減壓閥、過濾器,下遊加裝背（bèi）壓閿(或其他節流裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應有的工作壓差。

(8)對於（yú）矽烷這樣的遇（yù）空氣易形成結（jié）晶的氣體,應特別注意係統的密閉性（xìng）(檢漏時,不要忽視減壓器),必要時設計上（shàng）吹洗旁路,以便進行氮氣（qì）吹洗或正壓保待。

(9)對有高頻源的係統,應注意屏慧,並（bìng）做好接地,一般選擇（zé）單（dān）點接地為宜。

(10)對於高真空係統,應盡量減少（shǎo）氣略（luè）接頭,對須有的接（jiē）頭,要嚴（yán）格密（mì）封或采（cǎi）用（yòng）VCR等接頭

(11)對於 MFM/MFC的安裝位置（zhì）,應盡景選擇水平（píng）位置、並（bìng）且安裝（zhuāng）麵要水平、安（ān）裝位置要易於裝卸（xiè）、檢、調零。安裝時要盡量避免受到撞擊,安裝固定要安全可靠。

(12)使用中,如果工藝（yì）係統複雜或（huò）使用特殊氣體,儀表的測控係統啟（qǐ）用應建立專用的操作規程。

(13)使用中若發現儀表零點偏移時、可通過外罩上的調零（líng）孔調整,也（yě）可揭（jiē）開外罩調整,但量程（chéng）調整電位器不得輕易調整。

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